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微机械技术获取最新

微机械技术  micromachining technology

是指在1mm以下乃至纳米尺度上制造微机械装置。研究者们利用微电子材料和工艺制作了微型...这种马达可用来移动原子或开闭阀门抽取微升量级的液体。

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1.
从微机械技术基础理论研究、微机械制造工艺、微装配技术等方面阐述了我国微机械技术的研究概况.以微机械技术在航空、航天、国防等领域应用的2个方面——微飞行器和皮、纳卫星为例,阐述了我 ... 详情>>
中原工学院学报   2010年06期   微机械技术; 研究概况; 发展趋势; 尺度效应;
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2.
微机械传感器除运用硅基微电子制造技术外,大量应用化学腐蚀、特种高分子薄膜材料、电镀和电化学工艺等化学领域的新技术,形成了很多独特的微机械加工技术。这些技术的运用解决了很多关键性技 ... 详情>>
半导体技术   2001年05期   化学技术; 微机械技术; 传感器技术;
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3.
本文介绍了八十年代后期崛起的微机械技术发展动向概况,提出了从机电一体化角度考虑的微机械的定义,并从微机械的应用技术角度出发,归纳了发展微机械的几个主要相关技术:微机械的机构与结构 ... 详情>>
电子机械工程   1992年04期   微机械技术; 机电一体化; 相关技术;
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4.
对微机械技术进行了简要介绍,着重分析了其在航天传感器技术中的具体应用,并对我国微机械技术的发展现状及未来趋势进行了简要的论述。 详情>>
机电信息   2011年36期   微机械技术; 航天传感器技术; 应用分析;
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5.
随着新技术的不断发展,机械工业技术中的一种新技术——微机械技术,也得到了高速发展。目前,它在航天工程的传感器技术中也得到广泛研究和应用。本文从微机械技术对航天传感器的作用出发,着 ... 详情>>
科技传播   2011年10期   微机械技术; 优越性能; 航天传感器技术; 应用研究;
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6.
本文总结介绍了近年来国内外微机械加工技术的新发展,并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。 详情>>
仪表技术与传感器   1998年05期   微机械技术; 传感器; 执行器;
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7.
微机械技术是研究,生产微机械器件和微电子机械系统的关键技术,熟练掌握并不容易。本文总结了三个单位为时数年在微机械技术方面的研究成果,重点介绍我们首创的三项技术,即自对准的准三维加 ... 详情>>
功能材料与器件学报   1998年04期   微机械技术; 自对准的准三维加工技术; 硅三维结构的无掩模腐蚀技术; 硅/硅低温键合技术;
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8.
正 一、微机械的发展和定义 微机械是本世纪出现的一项高新技术,它的发展是建筑在下列三个支柱技术的基础上,即(1)以VLSI为代表的半导体微细加工技术;(2)微检测和控制技术;(3 ... 详情>>
医疗保健器具   1998年03期  
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9.
高科技中国际微机械技术的崛起肖英奎,崔占海,于洪岩80年代后期,国际高科技领域内出现了一个值得重视的发展新动向──微机械技术。何为“微机械”?“微机械”小到何种程度?目前国际还尚 ... 详情>>
现代情报   1994年02期  
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10.
正 一、微机械的发展和定义 微机械是本世纪出现的一项高新技术,它的发展是建筑在下列三个支柱技术的基础上,即(1)以VLSI为代表的半导体微细加工技术;(2)微检测和控制技术;(3 ... 详情>>
医疗保健器具   1999年05期  
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